연구소 소개

최첨단 반도체용 ALD (Atomic Layer Deposition) / CVD (Chemical Vapor Deposition) 재료를 개발하고 있습니다. 일본의 ADEKA CORPORATION과 연계를 도모하고, 고객사와 협력하여 개발을 진행하고 있습니다. DRAM, NAND 등의 메모리와 로직 반도체용 고유전율 전도체 재료 (High-k)를 주력으로, 전극 재료, 배선 재료 등 각종 요구되는 특성을 충족하며 성막 재료의 개발과 재료 평가 및 성막 평가 기술을 통해 재료의 새로운 개량을 거듭하여 차세대 재료를 개발하고 있습니다.

ALD 재료 개발

최첨단 반도체 제작에 필요

ALD 재료 개발

검토 및 평가

성막 장치를 사용한 프로세스 검토

및 재료 평가

측정 & 분석

나노 미터 스케일의 박막 분석을

위한 X선 장치 등을 사용한 분석