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고순도 ETCHING CAS
고순도 CVD
신규 CVD
고순도 CVD
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품명
화학식
비점(℃)
ADEKA SUPER TEOS
Si(OC2H5)₄
165.8
ADEKA HIGH PURITY TMOP
PO(OCH3)₃
193
ADEKA HIGH PURITY TE0P
PO(OC2H5)₃
215
ADEKA HIGH PURITY TMB
B(OCH3)₃
68.5
ADEKA HIGH PURITY TEB
B(OC2H5)₃
118
ADEKA HIGH PURITY TiCl₄
TiCl₄
136.4