반도체재료

세계시장에서의 경쟁력, 기술 우위 제품군
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고순도 ETCHING CAS 고순도 CVD 신규 CVD

고순도 CVD

품명 화학식 비점(℃)
ADEKA SUPER TEOS Si(OC2H5)₄ 165.8
ADEKA HIGH PURITY TMOP PO(OCH3)₃ 193
ADEKA HIGH PURITY TE0P PO(OC2H5)₃ 215
ADEKA HIGH PURITY TMB B(OCH3)₃ 68.5
ADEKA HIGH PURITY TEB B(OC2H5)₃ 118
ADEKA HIGH PURITY TiCl₄ TiCl₄ 136.4